微觀的世界是什么樣子的呢？肉眼能直接觀察的樣子在微觀下還是本來(lái)的樣子嗎？在實(shí)際應(yīng)用中，當(dāng)出現(xiàn)失效問(wèn)題后，往往在宏觀層面是不能發(fā)現(xiàn)問(wèn)題點(diǎn)，必須進(jìn)行放大一定倍數(shù)進(jìn)行觀察。

現(xiàn)對(duì)微觀位置或微觀形貌的觀察常用掃描電子顯微鏡（掃面電鏡SEM）：種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品, 通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用, 來(lái)激發(fā)各種物理信息, 對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。

圖 a.掃描電子顯微鏡原理圖;b.掃描電子顯微鏡電子信號(hào)示意圖。

（圖片來(lái)源：電子顯微學(xué)報(bào)）

此外, 掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合, 可以做到觀察微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析，如：X-射線能量色譜儀（EDS）

EDS能譜分析是當(dāng)X射線光子進(jìn)入檢測(cè)器后，在Si晶體內(nèi)激發(fā)出一定數(shù)目的電子空穴對(duì)。產(chǎn)生一個(gè)空穴對(duì)的最低平均能量ε是一定的（在低溫下平均為3.8ev），而由一個(gè)X射線光子造成的空穴對(duì)的數(shù)目為N=△E/ε，因此，入射X射線光子的能量越高，N就越大。利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對(duì)，經(jīng)過(guò)前置放大器轉(zhuǎn)換成電流脈沖，電流脈沖的高度取決于N的大小。電流脈沖經(jīng)過(guò)主放大器轉(zhuǎn)換成電壓脈沖進(jìn)入多道脈沖高度分析器，脈沖高度分析器按高度把脈沖分類進(jìn)行計(jì)數(shù)，這樣就可以描出一張X射線按能量大小分布的圖譜。

北測(cè)失效分析實(shí)驗(yàn)室配備先進(jìn)的冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，分辨率：優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)1.3nm；放大倍數(shù)：最小≥20倍，最大≤80萬(wàn)倍（底片模式）；最小≥80倍，最大≤200萬(wàn)倍；可以根據(jù)樣品類型和觀測(cè)要求選擇不同加速電壓。硅漂移型探測(cè)器，低噪音電子元器件和X4脈沖處理器的結(jié)合，能夠在1,500,000 cps的計(jì)數(shù)率下對(duì)樣品進(jìn)行面分析，并在400,000 cps計(jì)數(shù)率下進(jìn)行精確定量。晶體尺寸40mm2，分析速度快，探測(cè)靈敏度高；分辨率高達(dá)127eV，可以進(jìn)行點(diǎn)掃、線掃、面掃，區(qū)域掃。

使用SEM&EDS觀察微觀粒子形貌并做成分分析：

使用SEM觀察表面鍍層開(kāi)裂形貌、觀察不同材料斷口微觀特征形態(tài)及成分

檢測(cè)項(xiàng)目執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

JY/T 0584-2020      掃描電子顯微鏡分析方法通則

GB/T 17359-2012    微束分析 能譜法定量分析

GB/T 16594-2008    微米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則

北測(cè)優(yōu)勢(shì)：

•       我們配備專業(yè)的人員進(jìn)行操作，更高效的滿足客戶測(cè)試需求，更好的保證測(cè)試質(zhì)量及結(jié)果準(zhǔn)確性。
•       設(shè)備獨(dú)立樣品室設(shè)計(jì)，抽真空時(shí)間更短，現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際使用率更高。
•       我們的場(chǎng)發(fā)射電鏡具有優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kv分辨率可達(dá)到1.3nm，對(duì)比市場(chǎng)鎢燈絲電鏡觀察效果更清晰，測(cè)量數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確。
•       可根據(jù)客戶需求安排現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試，最快可當(dāng)天預(yù)約當(dāng)天測(cè)試。